歐姆龍采用獨(dú)創(chuàng)的超細(xì)微加工技術(shù)，開(kāi)發(fā)了裝配有流速檢測(cè)元件的MEMS流量傳感器D6F, 擁有引以為傲的世界最高級(jí)別靈敏度，甚至是1毫米/秒的氣體流速變化也能精確檢測(cè)。可以測(cè)量空氣、 天然氣以及LPG氣體等等，按測(cè)量類型來(lái)說(shuō)主要分為三大類：1、測(cè)量空氣流速 2、測(cè)量氣體流量 3、測(cè)量空氣壓差。

三大特點(diǎn)：

1、高精度--通過(guò) ASIC 的線性溫度補(bǔ)償，實(shí)現(xiàn) ±3%RD（25 ～ 100% F.S.）；

2、高靈敏度--獨(dú)特的 MEMS 構(gòu)造，對(duì)微風(fēng)也能進(jìn)行檢測(cè)；

3、體積小--采用世界最小等級(jí)的 MEMS 元件，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的小型化。

其中，D6F-W/-V/-P等系列流量傳感器采用歐姆龍獨(dú)創(chuàng)的立體流路結(jié)構(gòu)，防塵性出色，配備灰塵分離機(jī)構(gòu)（旋風(fēng)方式），減小了對(duì)傳感器芯片的影響，從而實(shí)現(xiàn)了高可靠性。更小型化的尺寸，可以安裝在任何位置，也適用多種用途。

歐姆龍MEMS流量傳感器檢測(cè)原理：在沒(méi)有氣體流動(dòng)的情況下以加熱器為中心，溫度分布左右對(duì)稱。流動(dòng)的狀態(tài)下，加熱器上風(fēng)向的溫度低，下風(fēng)向溫度高，溫度分布不再對(duì)稱。將該溫差作為熱電堆的電動(dòng)勢(shì)之差進(jìn)行傳感，可測(cè)量流量、流速而不影響溫度、壓力。此外，熱電堆為熱電動(dòng)勢(shì)方式，與電阻式相比，有助于降低功耗。

    隨著國(guó)內(nèi)天然氣市場(chǎng)的快速發(fā)展，清潔能源也越來(lái)越受到大眾的重視。可以預(yù)見(jiàn)的是，歐姆龍小型化、高性能MEMS流量傳感器，將會(huì)在智能燃?xì)獗怼⑷剂想姵亍⑷細(xì)忮仩t以及空氣能熱水器等應(yīng)用領(lǐng)域擁有更多的機(jī)會(huì)。